製作碳化矽基板需經過長晶、切割、磨邊導角、研磨、拋光、清洗、出貨檢查等製程步驟，其中影響品質的關鍵是長晶、切割製程。最早是於1892年由Acheson以人造方式合成碳化矽，後於1955年Lely改良製作方法取得較佳的材料品質。這種方式作成的碳化矽雖然純度較低，但因為硬度高又耐高溫，所以很早就被用作研磨材料、剎車片、加熱器和耐火材等用途。直到1995年Cree開發出可以製作較大尺寸且高品質的碳化矽晶體生長技術，進而開啟該產業的發展。