目前矽光子技術通常是在SOI晶圓上製作內含將電信號轉化成光信號的雷射源、將光信號轉化成電信號的光感測器、將光信號頻寬提升的調變器、傳輸光信號的平面波導、協助晶片讀取光信號的光耦合器等重要光電元件的晶片。圖1是矽光子晶片的剖面圖，其元件包括:

(1).利用矽作為導光層而製作的光柵耦合器與波導等光學元件；

(2).利用摻雜形成PN介面而製作的調變器與感測器等光電元件；

(3).利用III-V族材料磊晶膜片與矽SOI基板貼合而製作的雷射源，元件完成後沉積二氧化矽加以覆蓋以形成強導波結構，重要元件的技術發展概況說明如下 :