九月_SiC碳化矽專題|SiC碳化矽晶圓製程技術發展概況分析(上)

製作碳化矽基板需經過長晶、切割、磨邊導角、研磨、拋光、清洗、出貨檢查等製程步驟,其中影響品質的關鍵是長晶、切割 ...閱讀更多