九月_SiC碳化矽專題｜SiC碳化矽晶圓製程技術發展概況分析(下)

長成的碳化矽單晶晶碇隨後要進行切割製程。由於其具有硬度大且易脆裂的特性，使得晶錠的切割難度大且易磨損，因而對於 ...閱讀更多